氮化硅基板在机械性能与高温稳定性上展现显著综合优势。其抗弯强度达600-800MPa，远超氧化铝等传统陶瓷，抗冲击能力突出，可耐受严苛环境中的机械振动与瞬时载荷。断裂韧性高达4-6MPa・m¹/²，有效抑制裂纹扩展